精测电子打破国外垄断 孙公司斩获两台明场检测BFI100型设备订单

据精密电子（300567）官方微信官方账号消息，公司子公司上海精密微半导体科技有限公司（以下简称“上海精密微半导体”）本周已斩获两笔BFI100明场检测设备订单。

该类设备主要用于65纳米-180纳米半导体生产线的工艺监控。首批设备将于今年10月出机。作为半导体前端检测必备的主要设备，明场检测的核心技术一直被国外几家公司垄断。

BFI100作为国内首款量产明场测试设备，将帮助客户在该领域获得更具性价比的设备选型和应用服务。

数据显示，明场检查设备通常用于图案化晶片的缺陷检查，它通过高质量的光学成像检测尺寸远小于光学衍射极限的缺陷。

对光学镜头的加工安装精度、运动控制精度、照明光源的亮度、图像采集的噪声抑制、数据处理能力等都有非常高的要求。其通常接近掩模对准器的苛刻技术要求，相同的工艺节点。相反，暗场检测设备通过检测光散射信号来检测缺陷，

更容易获得足够的信噪比，其技术难度和系统复杂度也小于明场设备，因此在同一生产线上，明场设备的价格往往远高于暗场设备。

上海精微半导体是上海精微半导体科技有限公司（以下简称“上海精微半导体”）的控股子公司，精微电子是上海精微半导体的控股股东。

上海精密微半导体和上海精密半导体一直专注于半导体前端测量和检测关键技术和设备的开发。BFI100露地检测设备样机已通过两轮客户样品测试。

检测出的缺陷经上海精测半导体自主研发的eView 1000 Review SEM设备复检验证，检测精度得到客户的高度认可。

缺陷检测结果图和审查SEM审查图

上海精微半导体R&D团队通过正向设计，攻克了高亮度照明、高质量成像光学、高速图像采集、自动跟焦系统和纳米级运动平台等一系列关键部件的技术难关。其中，BFI100的软件采用分层架构设计和分布式部署。

自主研发的电子元器件保证了图像采集、运动工作台和系统软件的严格同步；结合分布式高性能计算和存储集群的高速图像传输可实时处理超过40Gbps的图像数据。

软件和图像处理平台架构

BFI100明场检测设备采用紫外波段照明和可见光波段照明，其检测灵敏度超过光学衍射极限，可广泛应用于芯片制造关键工序的关键缺陷检测。

例如逻辑器件、功率器件、硅有机发光二极管、DRAM、2D-NAND以及其他关键缺陷，例如光刻后的光刻胶桥接、蚀刻后的金属迹线短路和断线。

BFI100检测应用

精密电子表示，上海精密微半导体今年推出的BFI100明场检测设备将打破该设备长期被国外半导体设备厂商垄断的局面，有效改善明场检测设备短缺问题，助力半导体设备产业国产化。

随着BFI100的推出，上海精微半导体将加大力度研发28nm工艺节点明场检测设备BFI200的关键部件和完整系统，力争早日实现更高工艺节点明场检测设备的研发目标。

本文来自易发布。